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  • PLUTO-F(14.5L)實(shí)驗(yàn)室方腔等離子清洗機(jī)

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PLUTO-F(14.5L)實(shí)驗(yàn)室方腔等離子清洗機(jī)

簡要描述:PLUTO-F(14.5L)實(shí)驗(yàn)室方腔等離子清洗機(jī)/等離子體表面處理系統(tǒng)是一款功能強(qiáng)大的桌面型表面等離子體設(shè)備,非常適合于高校、科學(xué)研究所和企業(yè)實(shí)驗(yàn)室,或者小批量生產(chǎn),需要低成本運(yùn)作且高效處理的企業(yè)。它具備等離子設(shè)備幾乎所有的功能,具有較大的腔體尺寸和靈活的電極配置方式。

  • 產(chǎn)品型號:PLUTO-F
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-04-08
  • 訪  問  量:2271

詳細(xì)介紹

品牌PLUTOVAC產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,制藥/生物制藥,綜合
  PLUTO-F(14.5L)實(shí)驗(yàn)室方腔等離子清洗機(jī)特點(diǎn):
 
  1. 桌面型,性能穩(wěn)定、操作簡便、使用成本極低、易于維護(hù),高性價比。
 
  2.小身材,有效處理面積大,可以輕松處理8寸硅片去膠等應(yīng)用,最大可以處理203mm*203mm樣品。
 
  3.采用氣浴電極,清洗效率高。
 
  4.靈活的電極配置方案,最多可以處理2片8寸硅片
 
  5.對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和表面改性。
 


          PLUTO-F(14.5L)實(shí)驗(yàn)室方腔等離子清洗機(jī)參數(shù):
 
  1.  真空腔規(guī)格: 材質(zhì)6061-T6鋁合金 240mm*300mm*200mm
 
  2.  電極:平板氣浴電極,材質(zhì)6061-T6鋁合金
 
  3.  電極尺寸:205mm *205mm
 
  4.  頻率:13.56MHz (可選配40KHz射頻等離子源)
 
  5.  功率:0-500W連續(xù)可調(diào),精度1W,可在設(shè)備運(yùn)行中隨時調(diào)整參數(shù)
 
  6.  氣體控制:針式氣體流量閥, 60-600ml   2路氣體
 
  7.  真空計:電偶式真空計,精度:0.01mTor
 
  8.  控制方式:4.3寸工業(yè)控制觸摸屏,全手動控制和全自動控制兩種控制方式
 
  控制軟件功能:界面顯示實(shí)時工作狀態(tài)
 
 

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