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臺式真空等離子清洗機的技術(shù)特點一起了解下

更新時間:2024-10-17       點擊次數(shù):539
  臺式真空等離子清洗機采用等離子體技術(shù),利用氧、氮等氣體在高頻電場下離子化生成的等離子體,在低壓條件下對物體表面進行清洗和改性處理。
 
  臺式真空等離子清洗機的工作原理主要包括以下幾個步驟:
 
  創(chuàng)建真空環(huán)境:利用真空泵將腔體內(nèi)抽至一定的真空度,通常在0.3MPa到1MPa之間,為等離子體的產(chǎn)生創(chuàng)造條件。
 
  產(chǎn)生等離子體:在達到一定真空度后,向腔體中通入非聚合性無機氣體,如氬氣(Ar)、氮氣(N2)、氫氣(H2)或氧氣(O2)等。這些氣體在高頻電場的作用下被激發(fā),分子間的距離增大,分子或離子的平均自由運動長度增加,從而形成等離子體。
 
  等離子體轟擊:產(chǎn)生的等離子體含有高能量的離子,它們在電場中進行無序運動并轟擊被清洗物體的表面。這種轟擊具有物理和化學(xué)雙重作用,可以打斷化學(xué)鍵,去除物體表面的污染物。
 
  排出揮發(fā)性物質(zhì):清洗過程中產(chǎn)生的揮發(fā)性物質(zhì)通過工作氣流被真空泵抽出,從而達到清潔的目的。
 
  臺式真空等離子清洗機的技術(shù)特點:
 
  高效去污能力:利用等離子體技術(shù),可以在微觀級別上去除工件表面的污染物。等離子體由高能粒子構(gòu)成,能夠深入到傳統(tǒng)清洗方法難以觸及的微小縫隙中,分解并清除油脂、氧化物、有機污染物等,從而實現(xiàn)高效的清洗效果。
 
  無損清洗過程:與化學(xué)清洗或機械打磨不同,等離子清洗不會對被清洗物品造成物理損傷。這是因為等離子體作用溫和且可控,能夠在不改變材料表面特性的前提下完成清洗任務(wù),保護了敏感或精細的物品表面。
 
  綠色環(huán)保:等離子清洗過程中不使用任何化學(xué)試劑,避免了有害化學(xué)物質(zhì)的產(chǎn)生和排放,符合當(dāng)前環(huán)保趨勢。此外,它還減少了水資源的消耗,與傳統(tǒng)水基清洗相比,更加節(jié)能環(huán)保。
 
  臺式真空等離子清洗機在多個領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用:
 
  科研領(lǐng)域:在科研實驗中,樣品表面的清潔度對于實驗結(jié)果具有重要影響,以其高效的清洗能力和無損的清洗過程,成為科研領(lǐng)域的重要工具。
 
  半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,去除硅片表面的污染物對于提高芯片質(zhì)量和性能至關(guān)重要,能夠去除硅片表面的微小顆粒和有機物殘留,提高芯片的質(zhì)量和可靠性。
 
  生物醫(yī)學(xué):在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域,醫(yī)療器械和生物材料的表面清潔度對于其性能和安全性具有重要影響,能夠提供一種無污染的清洗方式,滿足生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的需求。
臺式真空等離子清洗機
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